偶聯(lián)劑KH-550涂膠機  偶聯(lián) 劑氣相沉積系統(tǒng)機理

   將KH-550/570/HMDS等硅烷增粘劑氣相沉積在基底表面，從而增大產(chǎn)品表面接觸角，增強表面兩者之間的界面結(jié)合力。其分子結(jié)構(gòu)中的硅氧烷基團(tuán)能夠與無機材料（如玻璃、金屬、陶瓷）表面的羥基發(fā)生反應(yīng)，形成穩(wěn)定的化學(xué)鍵；而氨基基團(tuán)則能夠與有機材料（如樹脂、塑料、橡膠）中的基團(tuán)相互作用，增強兩者之間的界面結(jié)合力。

偶聯(lián)劑KH-550涂膠機  偶聯(lián) 劑氣相沉積系統(tǒng)性能

容積:2-12寸產(chǎn)品cassette及碎片兼容，可定制

操作應(yīng)用：1-4工位獨立控制

溫度范圍：RT+20-200℃

真空度：≤1torr

自動化：電腦式控制+MES上機位控制

真空泵：無油渦旋真空泵

偶聯(lián)劑氣相沉積系統(tǒng)工藝：脫水干燥+氣相蒸鍍+尾氣排放

可擴(kuò)展功能：plasma等離子清洗一體機

優(yōu)點：偶聯(lián)劑用量節(jié)省95%，涂布更加均勻，可批量生產(chǎn)

   適用行業(yè)：MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、藍(lán)寶石、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、砷化鎵、鈮酸鋰、磷化銦、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料、生物芯片、微流控器件鍍膜前預(yù)處理。

   上海雋思儀器可定制防腐型抗粘劑（脫模劑）蒸鍍機，卷材憎水處理系統(tǒng)，表面超疏水蒸鍍系統(tǒng)，表面修飾沉積系統(tǒng)。